 |
| |
 |
|
 |
|
| |
|
ООО "Лаборатория СИ" |
| тел.: |
(812) 937-78-55 |
| e-mail: |
info@lab-si.ru |
| адрес: |
Санкт-Петербург
Индустриальный пр. 44
БЦ "Охта-Хаус" оф. 537 |
|
|
 |
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
 |
|
|
|
Автоматическая система управления установкой термического отжига.
Установки термического отжига предназначены для проведения процессов быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в инертной среде или вакууме. В зависимости от разновидности установки максимальная температура отжига может составлять 900 или 1200 градусов, а скорость роста температуры достигает 50°С/сек. АСУ полностью контролирует работу установки:
- осуществляется управление системами откачки и напуска с работой по различным режимам поддержания давления,
- производиться регулирование температуры стола,
- контролируются вспомогательные системы, в частности система охлаждения.
Работа установки может осуществляться в ручном или автоматическом режиме. В автоматическом режиме управление осуществляется по заранее подготовленным рецептам.
Опционально системы управления снабжаются ноутбуком для осциллографирования процессов, и подготовка отчётов о проведённом эксперименте.
Система управления для этого типа установок была создана по заказу группы компаний semiteq (www.semiteq.ru).
|
|
|
|
|
|
 |
|
 |
|
|
