|
| |
|
|
|
|
|
|
ООО "Лаборатория СИ" |
тел.: |
(812) 937-78-55 |
e-mail: |
info@lab-si.ru |
адрес: |
Санкт-Петербург
Индустриальный пр. 44
БЦ "Охта-Хаус" оф. 537 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Автоматическая система управления установкой электронно-лучевого напыления. Установки этого класса представляет собой полностью автоматизированную станцию электронно-лучевого напыления высококачественных тонкоплёночных композиций в сверхвысоком вакууме. Они предназначены как для проведения интенсивных исследований и разработок, так и для мелкосерийного производства. Двойственность их возможного применения накладывает дополнительные требования к системе управления: необходимо обеспечить максимальную гибкость для возможности проведения экспериментов в нестандартных условиях, не предусмотренных начальным заданием с одной стороны и обеспечить выполнение стандартных процессов по нажатию одной кнопки для мелкосерийного производства. Дополнительное требование, которое предъявлялось к автоматизации, была разработка такой системы управления, которая могла быть применена на различных по конфигурации (в зависимости от требований технологического процесса конечного заказчика) установкой этого класса. Специалисты “Лаборатории СИ” успешно справились с созданием такой СУ.
СУ построена по двухуровневой архитектуре и полностью контролирует работу установки. Система управляет:
- механизмами системы откачки: запорными клапанами, шиберами, турбиной, форвакуумным и ионным насосами,
- системой охлаждения,
- системой напуска,
- механической системой перезагрузки и
- непосредственно рабой электронного луча.
СУ позволяет управлять установкой в полностью автоматическом режиме, с проведением процесса напыления по рецептам или ручном режиме для проведения диагностики и обслуживания.
Система управления для этого типа установок была создана по заказу группы компаний semiteq (www.semiteq.ru).
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|