ООО "Лаборатория СИ"
тел.: (812) 937-78-55
e-mail: info@lab-si.ru
адрес: Санкт-Петербург
Индустриальный пр. 44
БЦ "Охта-Хаус" оф. 537

Автоматическая система управления установкой электронно-лучевого напыления.


      Установки этого класса представляет собой полностью автоматизированную станцию электронно-лучевого напыления высококачественных тонкоплёночных композиций в сверхвысоком вакууме. Они предназначены как для проведения интенсивных исследований и разработок, так и для мелкосерийного производства. Двойственность их возможного применения накладывает дополнительные требования к системе управления: необходимо обеспечить максимальную гибкость для возможности проведения экспериментов в нестандартных условиях, не предусмотренных начальным заданием с одной стороны и обеспечить выполнение стандартных процессов по нажатию одной кнопки для мелкосерийного производства. Дополнительное требование, которое предъявлялось к автоматизации, была разработка такой системы управления, которая могла быть применена на различных по конфигурации (в зависимости от требований технологического процесса конечного заказчика) установкой этого класса. Специалисты “Лаборатории СИ” успешно справились с созданием такой СУ.

      СУ построена по двухуровневой архитектуре и полностью контролирует работу установки. Система управляет:
  1. механизмами системы откачки: запорными клапанами, шиберами, турбиной, форвакуумным и ионным насосами,
  2. системой охлаждения,
  3. системой напуска,
  4. механической системой перезагрузки и
  5. непосредственно рабой электронного луча.
      СУ позволяет управлять установкой в полностью автоматическом режиме, с проведением процесса напыления по рецептам или ручном режиме для проведения диагностики и обслуживания.

       Система управления для этого типа установок была создана по заказу группы компаний semiteq (www.semiteq.ru).
Автоматизация инновационных производств
Транспортные системы
Диспетчеризация


АСУ установкой плазмохимических процессов травления и осаждения
АСУ установкой электронно-лучевого напыления
АСУ установкой термического отжига
ООО "Лаборатория Системной Интеграции". 2008г - 2012г. Все права защищены.