 |
| |
 |
|
 |
|
| |
|
ООО "Лаборатория СИ" |
| тел.: |
(812) 937-78-55 |
| e-mail: |
info@lab-si.ru |
| адрес: |
Санкт-Петербург
Индустриальный пр. 44
БЦ "Охта-Хаус" оф. 537 |
|
|
 |
|
 |
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
 |
|
|
|
Автоматическая система управления установкой плазмохимических процессов травления и осаждения.
 Семейство этих установок имеет двойственное назначение. Они позволяют проводить процессы плазмохимического травления в комбинированной плазме емкостного и индуктивного разряда или осаждения диэлектриков (SiNx, SiO2 и т.п.) в плазме индуктивного разряда. Реализовано несколько разновидностей этих установок: в зависимости от технологических требований может меняться состав оборудования на конкретных экземплярах таких установок. Специалистами “Лаборатории СИ” разработан “универсальный комплект автоматизации”, который может быть адаптирован под различные варианты исполнения установки. Система управления построена по классической двухуровневой архитектуре с использванием серийно выпускаемых программных и аппартных средств ведущий мировых и отечественных производителей. Система управляет:
- запорно-регулирующей арматурой и насосами двух систем откачки (одна работает на основную камеру, вторая на шлюзовую). Среди прочего в системах откачки используются турбины и регулируемые шиберы, имеющие собственные контроллеры. Взаимодействие с этими контроллерами осуществляется по интерфейсу RS-485. Протоколы обмена данными у этих контроллеров нестандартные, поэтому программисты “Лаборатории СИ” реализовали специальные программные драйверы для обмена данными с ними.
- механической системой загрузки выгрузки, позволяющей автоматически перегружать держатель с образцом из шлюзовой камеры в рабочую и обратно.
- системой охлаждения установки
- контроллерами высокочастотных генераторов возбуждения плазмы. Контроллеры управляются по каналам Ethernet.
- запорной арматурой и контроллерами-дозаторами 8-ми линий подачи газа согласно рецептуре
Система реализует следующие функции:
- защиты и блокировки,
- управление агрегатами установки в ручном режиме,
- контроль за работой агрегатов установки, включая взаимодействие со специализированными контроллерами,
- программно-логическое управление агрегатами установки, проведение процесса по нажатию одной кнопки,
- регулирование технологических параметров,
- работу по загруженным рецептам,
- ведение журналов событий,
- подготовку отчётов о работе.
Специалисты “Лаборатории СИ” создали универсальный конструктор для автоматизации этого класса установок и вообще любых сверхвысоковакуумных экспериментальных установок. В конструктор входят решения по гибкому набору требуемого числа контроллеров, операторских мест, входов-выходов контроллеров, а также специализированные программные библиотеки. Программные библиотеки состоят из готовых настраиваемых модулей управления агрегатами установок (включая подготовленные наборы динамических отображений для мнемосхем), модулей рецептов, подготовки отчётов, а также драйверов для связи со специализированными контроллерами. Приступая к автоматизации нового экземпляра установки инженеры “Лаборатории СИ” просто собирают эти кубики исходя из конфигурации конкретной установки. Такой подход позволил значительно сократить расходы на автоматизацию серийно выпускаемых, но различных по составу установок.
Система управления для этого типа установок была создана по заказу группы компаний semiteq (www.semiteq.ru).
|
|
|
|
|
|
 |
|
 |
|
|
