ООО "Лаборатория СИ"
тел.: (812) 937-78-55
e-mail: info@lab-si.ru
адрес: Санкт-Петербург
Индустриальный пр. 44
БЦ "Охта-Хаус" оф. 537

19/11/12
 

Лаборатория СИ автоматизировала установку магнетронного распыления


      Закончены работы по автоматизации установки магнетронного распыления STE MS105. Это новый вид установок автоматизируемых ООО «Лаборатория СИ» по заказу группы компаний Semiteq. За время совместной работы нами накоплен большой опыт по автоматизации установок нанотехнологических операций. Опыт воплотился в конкретных рецептах построения систем управления для подобного оборудования и применений метода блочного конструирования. Метод блочного конструирования позволяет нам строить систему управления (как в аппаратной части, так и в написании программ) из наборов специализированных блоков как в конструкторе Lego. В итоге, приступая к автоматизации совершенно новой для нас установки, мы просто набираем в нужном порядке эти блоки, настраиваем их и устанавливаем взаимосвязи между ними в соответствии с тем, как установка должна работать. Мы можем легко заменить какой-нибудь блок, например, если выясниться, что какой-то агрегат лучше в работе, чем его аналог, который ранее предполагалось использовать: установки, ведь, экспериментальные, и такие замены не редкость. Система управления эволюционирует вместе с установкой, нисколько от неё не отставая.
      Автоматизация установки STE MS105 контролирует работу всех агрегатов установки, осуществляет в автоматическом режиме подготовительные операции, реализует защиты, делая работу на установке безопасной, проводит технологические операции по рецептам, точно отрабатывая задания технологов, сводит на единый графический интерфейс всю информацию о состоянии установки, позволяя полностью контролировать работу установки, ведёт архивирование технологических параметров и событий в системе (включая действия персонала), строит отчёты о работе.
20/12/12 - Доклад на IV конференции Нанотехнологического общества России.
19/11/12 - Лаборатория СИ автоматизировала установку магнетронного распыления
28/05/12 - Лаборатория СИ примет участие в конференции "ПТА. Интеллектуальное здание - 2012"
25/04/12 - Закончена работа над автоматизацией стенда калибровки колёсных пар
06/06/11 - Сдана система управления установкой молекулярно-пучковой эпитаксии
03/12/10 - Лаборатория СИ приняла участие в конференции "НАНОТЕХНОЛОГИИ - ПРОИЗВОДСТВУ 2010"
20/06/10 - РМКЦП "Нанотехнологии" при Южном Федеральном Университете принял в опытную эксплуатацию три установки планарных технологий
15/12/09 - сдана в эксплуатацию АСУ в составе установки электронно-лучевого напыления EB71.
10/10/09 - завершены работы по запуску системы управления управления установкой плазмохимического осаждения
15/08/09 - сдана в опытную эксплуатацию диспетчерская АСОП
21/05/09 - завершена разработка СУ установкой плазмохимического травления
03/03/10 - создана АСУ установкой термического отжига
10/02/09 - "Лаборатория СИ" - лучший системный интегратор 2008 года
01/12/08 - первая система управления нанотехнологическим процессом
ООО "Лаборатория Системной Интеграции". 2008г - 2012г. Все права защищены.